アプライド マテリアルズ DRAMスケーリングに向けたマテリアルズ エンジニアリング ソリューションを発表

新しいハードマスク材料Dracoをエッチング装置Sym3 Yに協調最適化することにより、DRAMキャパシタのスケーリングを加速; アプライド マテリアルズが先駆的に開発したLow-k絶縁材料Black DiamondをDRAMに応用することで、周辺ロジックにおける ...関連キーワードはありません